工研院攜手日商優化晶圓檢測技術

工研院攜手日本半導體化材製造大廠德山,推動下世代半導體新發展 。   (記者彭新茹攝)

記者彭新茹∕新竹報導

面對5G、物聯網、車用電子、AI人工智慧蓬勃發展等市場強勁需求,推升新世代半導體製程往微小化邁進。工研院日前與日本半導體化材製造商德山株式會社簽約,共同研發半導體用原物料品質檢測技術,快速篩選出原物料中的不純物質,提升生產良率。雙方未來將透過雙方技術開發與緊密合作,成為國內半導體產業生產高品質與更高規格產品的強力後盾,搶攻新世代智慧運用的半導體商機。

工研院量測技術發展中心執行長林增耀表示,德山看準工研院擁有先進半導體奈米級品質檢測技術,與工研院攜手優化晶圓製程原物料的檢測技術,希望能藉由合作供應台灣半導體製造商製程原物料的品質管控技術,提高原物料純度與品質,有助提高半導體元件微小化時的產品良率,將工研院的量測技術拓展至國際半導體量測市場。

德山取締役常務執行役員岩崎史哲表示,以工研院所擁有之先進半導體奈米級檢測技術,結合德山半導體化學材料相關產品技術,開發半導體產業所需之前瞻量測技術,期許共同創造半導體產業更先進製程微細化之技術藍圖,滿足客戶需求的實際運用,提升台灣半導體產業的國際競爭力。

工研院深耕開發各項量測技術長達三十餘年,此次合作除了借重德山半導體材料的專長,共同開發更新、更靈敏的量測設備,提升檢測服務,降低半導體晶圓汙染風險,透過台日間的國際合作,為晶圓廠下世代微縮製程超前部署。

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